超临界二氧化碳作为一种具有特殊物理性质的流体，在现代科技发展中扮演着越来越重要的角色。中国科学院微电子研究所近年来在超临界二氧化碳领域加大投入，取得一系列突破性进展，推动了多个高端行业的技术升级。超临界二氧化碳的应用不仅限于材料表面处理、半导体制造，还涵盖环保...